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    無塵室主要是由下列各項系統(tǒng)所組成的
    瀏覽次數(shù):2987發(fā)布日期:2022-03-15
      無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
     

     

      無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
     
      無塵室構(gòu)成:
      無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成,在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的,否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:
      1、天花板系統(tǒng):包括吊桿、綱)、天花板格子梁;
      2、空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等;
      3、隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門;
      4、地板:包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面;
      5、照明器具:包括日光燈、黃色燈管等;
      6、無塵室之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
      ①、不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;
      ②、不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
      ③、吸濕性小;
      ④、為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
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